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硅烷废气处理

硅烷废气处理

2020-11-04 00:00:00    来源:兴邦环保    点击:183   

硅烷废气处理


           在双极集成电路和分立器件的制造过程中,需要用硅烷参与反应的CVD技术来生长二氧化硅、氮化硅、和多晶硅等掺杂或钝化薄膜。因此,在CVD工艺过程中的进气包括有机硅烷,因而尾气的组分中也包括未分解的有机硅烷。多数工厂使用的硅烷(SiH4)浓度有5%、20%、和100%等多种硅烷。  

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