您好,欢迎光临河南兴邦环保科技有限公司官方网站!

您现在的位置: 首页 > 新闻动态 > 企业新闻

栏目导航

企业新闻

硅烷废气处理工艺

硅烷废气处理工艺

2020-11-14 00:00:00    来源:河南兴邦    点击:181   

硅烷废气处理


    河南兴邦环保科技公司公开了一个新颖的处理硅烷废气的设备及方法,适用于大规模半导体器件生产过程.该处理系统包含一个高温不锈钢管,里面装满碎石或大的卵石.硅烷废气从薄膜加工设备中排出后被导入该高温钢管,在其中,硅烷被热分解,分解物沉积在碎石上.碎石需定期更换.本发明的显著特点是,在不可比拟的低成本下就能高效可靠地处理真空镀膜系统中生成的废气. 欢迎咨询河南兴邦环保科技公司 硅烷废气处理工艺 13838518390李


河南兴邦环保科技有限公司       

上一篇:氮氧化物废气处理
下一篇:没有了

联系我们

服务热线:13838518390
地址:郑州建设路与秦岭路口北300米六合幸福门1502室
手机:13838518390
邮箱:577588248@qq.com

友情链接

催化燃烧
网络分布: 总站     河南     郑州     洛阳     焦作     济源     三门峡     新乡     安阳     巩义     新密     平顶山     鹤壁     濮阳     开封     周口     商丘     许昌     漯河     驻马店     信阳     南阳     山西     陕西    

copyright©2018 All rights reserved 河南兴邦环保科技有限公司豫ICP备16035790号-13